Tehnički vjesnik, Vol. 22 No. 4, 2015.
Izvorni znanstveni članak
https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda
Gorana Baršić
; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia
Biserka Runje
orcid.org/0000-0002-7786-0864
; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia
Vedran Šimunović
; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia
Sažetak
2011. godine uHrvatskom nacionalnom laboratorijuza duljinu (HMI/FSB-LPMD) razvijeni su etaloni za umjeravanje, a koji su izrađeni u suradnji s tvrtkom MikroMaschTrading OU i Institutom Ruđer Bošković. Specifični dizajn etalona čini ih prikladnim za umjeravanje optičkih mjernih uređaja, uređaja s ticalom, skenirajućih elektronskih mikroskopa, mikroskopa atomskih sila i skenirajućih tunelirajućih mikroskopa. Stoga razvijeni etaloni uvelike pridonose obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde i 2D i 3D parametara hrapavosti dobivenih različitim mjernim metodama. Nakon niza provedenih mjerenja na novim etalonima, temeljem kojih su stečena nova znanja, u HMI/FSB-LPMD-u osmišljeni su novi etaloni za područje dimenzionalnog nanomjeriteljstva. U ovom radu predstavljen je dizajn novog etalona, koji je još uvijek prikladan za umjeravanje različitih tipova mjernih uređaja, ali ima veće mogućnost mjerenja u smislu mjernih raspona u vertikalnom i lateralnom smjeru.
Ključne riječi
nanomjeriteljstvo; etaloni; obnovljivost
Hrčak ID:
143138
URI
Datum izdavanja:
8.8.2015.
Posjeta: 1.712 *