hrcak mascot   Srce   HID

Izvorni znanstveni članak
https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358

Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda

Gorana Baršić ; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia
Biserka Runje   ORCID icon orcid.org/0000-0002-7786-0864 ; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia
Vedran Šimunović ; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia

Puni tekst: hrvatski, pdf (1 MB) str. 935-938 preuzimanja: 212* citiraj
APA 6th Edition
Baršić, G., Runje, B. i Šimunović, V. (2015). Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda. Tehnički vjesnik, 22 (4), 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
MLA 8th Edition
Baršić, Gorana, et al. "Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda." Tehnički vjesnik, vol. 22, br. 4, 2015, str. 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358. Citirano 05.03.2021.
Chicago 17th Edition
Baršić, Gorana, Biserka Runje i Vedran Šimunović. "Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda." Tehnički vjesnik 22, br. 4 (2015): 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
Harvard
Baršić, G., Runje, B., i Šimunović, V. (2015). 'Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda', Tehnički vjesnik, 22(4), str. 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
Vancouver
Baršić G, Runje B, Šimunović V. Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda. Tehnički vjesnik [Internet]. 2015 [pristupljeno 05.03.2021.];22(4):935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
IEEE
G. Baršić, B. Runje i V. Šimunović, "Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda", Tehnički vjesnik, vol.22, br. 4, str. 935-938, 2015. [Online]. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
Puni tekst: engleski, pdf (1 MB) str. 935-938 preuzimanja: 347* citiraj
APA 6th Edition
Baršić, G., Runje, B. i Šimunović, V. (2015). Nano-calibration standard with multiple pitch and step height values. Tehnički vjesnik, 22 (4), 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
MLA 8th Edition
Baršić, Gorana, et al. "Nano-calibration standard with multiple pitch and step height values." Tehnički vjesnik, vol. 22, br. 4, 2015, str. 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358. Citirano 05.03.2021.
Chicago 17th Edition
Baršić, Gorana, Biserka Runje i Vedran Šimunović. "Nano-calibration standard with multiple pitch and step height values." Tehnički vjesnik 22, br. 4 (2015): 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
Harvard
Baršić, G., Runje, B., i Šimunović, V. (2015). 'Nano-calibration standard with multiple pitch and step height values', Tehnički vjesnik, 22(4), str. 935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
Vancouver
Baršić G, Runje B, Šimunović V. Nano-calibration standard with multiple pitch and step height values. Tehnički vjesnik [Internet]. 2015 [pristupljeno 05.03.2021.];22(4):935-938. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358
IEEE
G. Baršić, B. Runje i V. Šimunović, "Nano-calibration standard with multiple pitch and step height values", Tehnički vjesnik, vol.22, br. 4, str. 935-938, 2015. [Online]. https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358

Sažetak
2011. godine uHrvatskom nacionalnom laboratorijuza duljinu (HMI/FSB-LPMD) razvijeni su etaloni za umjeravanje, a koji su izrađeni u suradnji s tvrtkom MikroMaschTrading OU i Institutom Ruđer Bošković. Specifični dizajn etalona čini ih prikladnim za umjeravanje optičkih mjernih uređaja, uređaja s ticalom, skenirajućih elektronskih mikroskopa, mikroskopa atomskih sila i skenirajućih tunelirajućih mikroskopa. Stoga razvijeni etaloni uvelike pridonose obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde i 2D i 3D parametara hrapavosti dobivenih različitim mjernim metodama. Nakon niza provedenih mjerenja na novim etalonima, temeljem kojih su stečena nova znanja, u HMI/FSB-LPMD-u osmišljeni su novi etaloni za područje dimenzionalnog nanomjeriteljstva. U ovom radu predstavljen je dizajn novog etalona, koji je još uvijek prikladan za umjeravanje različitih tipova mjernih uređaja, ali ima veće mogućnost mjerenja u smislu mjernih raspona u vertikalnom i lateralnom smjeru.

Ključne riječi
nanomjeriteljstvo; etaloni; obnovljivost

Hrčak ID: 143138

URI
https://hrcak.srce.hr/143138

[engleski]

Posjeta: 868 *