Original scientific paper
Struktura i površina rasprašenih polikristalnih i nanokristalnih Ti slojeva
Jindrich Musil
; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Vlastimil Jezek
; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Marcel Benda
; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Milan Kubásek
; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Dagmar Jandová
; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Jaroslav Vlcek
; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Abstract
Proučavan je učinak ionskog bombardiranja na strukturu i oblik površine polikristalnog Ti (čistoće 99.5%) i nanokristalnog Ti-SS (nehrdajući čelik) tankih slojeva nanešenih procesom DC magnetronskog rasprašivanja. Istražen je učinak negativnog napona podloge na strukturu i oblik površine polikristalnih Ti i nanokristalnih Ti-SS slojeva. Nanokristalni Ti-SS slojevi imaju glatkiju površinu nego polikristalni Ti slojevi dobiveni rasprašivanjem na naponu nula volta. Razlog je velika razlika u veličini zrna nanokristalnih (oko 1 nm) i polikristalnih (stotine nm) tankih slojeva.
Keywords
Hrčak ID:
299489
URI
Publication date:
2.5.1995.
Visits: 311 *