Izvorni znanstveni članak
Sustav za vakuumsko naparavanje uz pojačanje prekrivanja ionskim snopom
Pavel Hedbávný
; VAKUUM PRAHA spol.s.r.o., V Holešovičkách 2 CZ-180 00 Praha 8, Czech Republic
Petr Stovícek
; VAKUUM PRAHA spol.s.r.o., V Holešovičkách 2 CZ-180 00 Praha 8, Czech Republic
Lothar Siegert
; MAT GmbH DRESDEN, Reisstrasse 3 D-01257 Dresden, Germany
Peter Müller
; MAT GmbH DRESDEN, Reisstrasse 3 D-01257 Dresden, Germany
Sažetak
Radi rješavanja problema prianjanja, naprezanja u slojevima ili radi postizavanja posebnih efekata, sve se više upotrebljava nanošenje uz pojačanje ionskim snopom. Opisuje se takav malen sustav za primjenu u istraživačkim laboratorijima ili u industriji. Vakuumski sistem isisava pumpa s dijafragmom i turbomolekulska pumpa, što omogućava rad bez zagadenja uljem. U cilindričnoj komori mogu se razmjestiti jedan ili više magnetrona i izvora iona. Moguće je automatsko vođenje procesa naparavanja računalom.
Ključne riječi
Hrčak ID:
299502
URI
Datum izdavanja:
2.5.1995.
Posjeta: 312 *