Original scientific paper

Monte Carlo simulacija radiofrekventne plazme u O2

L. Settaouti ; Electrotechnic Department, University of Sciences and Technology, P. O. Box. 1505, El-M'naouar, Oran, Algeria
A. Settaouti ; Electrotechnic Department, University of Sciences and Technology, P. O. Box. 1505, El-M'naouar, Oran, Algeria

Abstract

Primjena izboja s radiofrekventnom (RF) uzbudom u mnogim područjima, kao što su obrada materijala, mikroelektronička i svemirska industrija, zahtijeva razvoj učinkovitih numeričkih alata za razumijevanje, predviđanje i programiranje njihovih svojstava. Proučavamo strukturu RF izboja u O2 za elektrone, te pozitivne i negativne ione, razmatrajući sudare elektrona i iona s neutralnim molekulama. Opisujemo podrobno neka svojstva RF plazme primjenom Monte Carlo simulacije. Ishodi simulacije pokazuju da je vanjsko RF električno polje apsorbirano u području graničnih ploha. Odziv elektrona na vanjsko oscilatorno RF polje je izražen, ali ioni ne mogu pratiti brze promjene RF električnog polja. Oscilacije elektronskog oblaka određuju trenutnu debljinu granične plohe pored obje elektrode. Raspravljamo također srednju energiju i gustoću nabijenih čestica kao i učinke tlaka plina na parametre izboja.

Keywords

Hrčak ID:

302530

URI

https://hrcak.srce.hr/302530

Publication date:

2.3.2008.

Article data in other languages: english

Visits: 149 *