Original scientific paper

https://doi.org/10.17559/TV-20140710142358

Etalon za umjeravanje u nano području s višestrukim vrijednostima koraka i brazda

Gorana Baršić ; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia
Biserka Runje orcid.org/0000-0002-7786-0864 ; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia
Vedran Šimunović ; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Ivana Lučića 1, 10000 Zagreb, Croatia

Abstract

2011. godine uHrvatskom nacionalnom laboratorijuza duljinu (HMI/FSB-LPMD) razvijeni su etaloni za umjeravanje, a koji su izrađeni u suradnji s tvrtkom MikroMaschTrading OU i Institutom Ruđer Bošković. Specifični dizajn etalona čini ih prikladnim za umjeravanje optičkih mjernih uređaja, uređaja s ticalom, skenirajućih elektronskih mikroskopa, mikroskopa atomskih sila i skenirajućih tunelirajućih mikroskopa. Stoga razvijeni etaloni uvelike pridonose obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde i 2D i 3D parametara hrapavosti dobivenih različitim mjernim metodama. Nakon niza provedenih mjerenja na novim etalonima, temeljem kojih su stečena nova znanja, u HMI/FSB-LPMD-u osmišljeni su novi etaloni za područje dimenzionalnog nanomjeriteljstva. U ovom radu predstavljen je dizajn novog etalona, koji je još uvijek prikladan za umjeravanje različitih tipova mjernih uređaja, ali ima veće mogućnost mjerenja u smislu mjernih raspona u vertikalnom i lateralnom smjeru.

Keywords

nanomjeriteljstvo; etaloni; obnovljivost

Hrčak ID:

143138

URI

https://hrcak.srce.hr/143138

Publication date:

8.8.2015.

Article data in other languages: english

Visits: 2.212 *