Original scientific paper

Dubinsko profiliranje sloja mjerenjem ukupnog elektronskog prinosa

Horst Ebel ; Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040 Wien, Austria
Robert Svagera ; Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040 Wien, Austria
Roland Kaitna ; Rokappa Laborinstrumente Ges.m.b.H., Krichbaumgasse 31, A-1120 Wien, Austria

Abstract

Mjerenje ukupnog elektronskog prinosa često se upotrebljava u EXAFS mjerenjima. Ovisnost skokovitog porasta ukupnog elektronskog prinosa u blizini apsorpcijskog ruba o sastavu i debljini sloja s više elemenata omogućuje njihovo određivanje kao u XRF mjerenjima. Načinjena su mjerenja i računi za tanke slojeve AlxGa1−xAs na GaAs podlozi i potvrđena je valjanost teorijskog pristupa za debljine od 0.2 do 0.6 nm i za debljine 20 do 120 nm. Stoga je ova metoda prikladna za kvantitativne analize u nanometarskom području.

Keywords

Hrčak ID:

299481

URI

https://hrcak.srce.hr/299481

Publication date:

2.5.1995.

Article data in other languages: english

Visits: 146 *