Original scientific paper
Značajke trenja C i C:N tankih slojeva načinjenih RF magnetronskim rasprašivanjem
Jaroslav Sobota
Abstract
Tanki slojevi C i C:N načinjeni su u standardnom sustavu za rasprašivanje s RF magnetonom. Upotrebljavana je grafitna meta visoke (99.999 %) čistoće. Tribološka mjerenja načinjena su pomoću tribometra s kuglicom na disku. Klizni pomak na nanešenom sloju definira se preko trenutka kada nastane ogrebotina i faktor trenja naglo poraste.
Keywords
Hrčak ID:
299491
URI
Publication date:
2.5.1995.
Visits: 142 *