Original scientific paper
In situ električka i optička opservacija oksidacije tankog filma Ti
Stjepan Lugomer
; Electrotechnical faculty, 78000 Banja Luka, Yugoslavia
Mladen Stipančić
; Electrotechnical faculty, 78000 Banja Luka, Yugoslavia
Abstract
Istraživana je visokotemperaturna oksidacija tankih filmova Ti u intermedijarnom intervalu između logaritamske i paraboličke kinetike oksidacije. Primjećeno je postepeno povećanje logaritamske kinetike umjesto očekivanog postepenog prijelaza s logaritamske na paraboličku kinetiku oksidacije. Primjećeno je također, da je parabolička kinetika neosjetljiva na termičko tretiranje. Istraživanje se temelji na simultanim in situ mjerenjima električnog otpora i MBI refleksije. Strukturne studije pomoću transmisionog elektronskog mikroskopa i Augerovog dubinskog profiliranja pokazale su da je homogena struktura TiO2 rutila, invarijantna na varijaciju oksidacijske kinetike. Krivulje MBI refleksije fitovane na osnovu Browell¬-Anderson modela za semitransparentne filmove, pokazale su amplitudnu konvergenciju i faznu divergenciju s rastućom debljinom filma. Dobivena su amplitudna fitovanja bolja od 85% i fazna fitovanja bolja od 95%. Određen je koeficijent ekstinkcije TiO2, β = 3,6 · 104 cm-1, za valnu dužinu He-Ne lasera (λ = 632,8 nm).
Keywords
Hrčak ID:
328930
URI
Publication date:
5.12.1983.
Visits: 362 *