Original scientific paper
Primjena umjetne inteligencije za karakterizaciju nanotriboloških svojstava tehnoloških tankih filmova
Marko Perčić
; Sveučilište u Rijeci - Tehnički fakultet, Vukovarska 58, 51000 Rijeka; Sveučilište u Rijeci, Centar za umjetnu inteligenciju i kibernetičku sigurnost, Radmile Matejčić 2, 51000 Rijeka; Sveučilište u Rijeci, Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije, Radmile Matejčić 2, 51000 Rijeka
Saša Zelenika
; Sveučilište u Rijeci - Tehnički fakultet, Vukovarska 58, 51000 Rijeka; Sveučilište u Rijeci, Centar za umjetnu inteligenciju i kibernetičku sigurnost, Radmile Matejčić 2, 51000 Rijeka; Sveučilište u Rijeci, Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije, Radmile Matejčić 2, 51000 Rijeka
Abstract
Trenje na nanometarskoj razini ograničava preciznost i točnost mikro‑ i nanosustava. Doista, stohastička varijabilnost trenja otežava predviđanje ponašanja i regulaciju. Konvencionalni pristupi strojnog učenja omogućuju dobivanje većih točnosti, ali uz nedostatak objašnjivosti. U ovome se radu, stoga, koriste transparentni i interpretabilni algoritmi umjetne inteligencije (UI) da bi se dobio bolji uvid uz visoku prediktivnu učinkovitost. UI modeli testirani su na skupovima podataka dobivenih mikroskopijom s pretražnim osjetnikom na tankim filmovima ostvarenim naprednim postupcima taloženja. Trenje je mjereno varirajući istovremeno normalno opterećenje, brzinu klizanja i temperaturu. Eksperimentalnim su podacima trenirani modeli simboličke regresije temeljeni na evolucijskim algoritmima. Dobiveni modeli omogućili su utvrđivanje ovisnosti nanometarskog trenja o procesnim parametrima, vjerno reproducirajući eksperimentalne rezultate na neviđenim skupovima podataka uz dobivanje jednostavnih matematičkih korelacija.
Keywords
Hrčak ID:
347832
URI
Publication date:
8.6.2026.
Visits: 80 *