Original scientific paper

Koncentracijski profili elemenata i struktura tankih slojeva a-Si1-xNx:H

Vitaliy Gerasimov ; Uzhgorod State University, Department of Solid-State Electronics, 294000 Uzhgorod, 32 Voloshyn str., Ukraine
Vladimir Mitsa ; Uzhgorod State University, Department of Solid-State Electronics, 294000 Uzhgorod, 32 Voloshyn str., Ukraine

Abstract

Proučavali su se SIMS profili tankih slojeva a-Si1-xNx:H različitih sastava. Raspodjela vodika u nitriranim slojevima je promjenljiva i njegov sadržaj opada za x < 0,06. U svim se uzorcima opazilo onečišćenje natrijem koje na površinama slojeva nadmašuje sva druga onečišćenja. Za male dodatke dušika se položaj apsorpcijskog ruba u slojevima a-Si1-xNx:H malo mijenja u odnosu na a-Si:H. Prema analizama IR spektara a-Si1*xNx:H oko Si-N vezanja, ostvaruju se različiti atomi oko Si atoma u slojevima.

Keywords

Hrčak ID:

299842

URI

https://hrcak.srce.hr/299842

Publication date:

1.6.1997.

Article data in other languages: english

Visits: 220 *