Original scientific paper
Termička stabilnost tankih slojeva TiO2 dobivenih kemijskim taloženjem iz pare. XPS i AES karakterizacija
Aleksandra Turković
; Ruđer Bošković Institute, P.O.B.1016, 41001 Zagreb, Croatia
Damir Šokčević
; Ruđer Bošković Institute, P.O.B.1016, 41001 Zagreb, Croatia
Tonica Valla
; Institute of Physics of the University, P.O.B. 304, 41001 Zagreb, Croatia
Milorad Milun
; Institute of Physics of the University, P.O.B. 304, 41001 Zagreb, Croatia
Jadranka Rukavina
; Institute of TEŽ, Folnegovićeva 10, 41000 Zagreb, Croatia
Abstract
Proučavana je termička stabilnost tankih, polikristaličnih slojeva TiO2 dobivenih jednostavnim kemijskim taloženjem iz pare na podloge iz kvarca, molibdena i zlata. Korištene su metode XPS i AES na uzorcima prije i poslije termičkog napuštanja u rasponu temperatura od 298 do 1200 K. Našli smo ugljik, vodu i O-H skupine kao nečistoće na površinama slojeva. Diskutirani su utjecaji termičkog napuštanja i nečistoća na stehiometriju slojeva.
Keywords
Hrčak ID:
299365
URI
Publication date:
1.3.1993.
Visits: 592 *