Original scientific paper
Granica osjetljivosti protustrujnog detektora propustljivosti
Genichi Horikoshi
; National Laboratory for High Energy Physics (Emeritus Professor), Kashiwada 3322-7, Ushiku-shi, Ibaraki, 300-12, Japan
Abstract
Izlaže se opći pregled sistema za detekciju propustljivosti vakuumskih uređaja s posebnom pažnjom na turbomolekulsku pumpu s dva ulaza i na nov protustrujni detektor propustljivosti. Radi određivanja učinkovitosti rada tih sustava, raspravlja se minimalno propuštanje koje se može opaziti i vremenska konstanta odziva sustava. Pomoću tih značajki određuju se učinkovitosti raznih uređaja.
Keywords
Hrčak ID:
299457
URI
Publication date:
2.5.1995.
Visits: 374 *