Original scientific paper

Struktura i površina rasprašenih polikristalnih i nanokristalnih Ti slojeva

Jindrich Musil ; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Vlastimil Jezek ; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Marcel Benda ; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Milan Kubásek ; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Dagmar Jandová ; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic
Jaroslav Vlcek ; University of West Bohemia, Americká 42, Plzeń, Czech Republic

Abstract

Proučavan je učinak ionskog bombardiranja na strukturu i oblik površine polikristalnog Ti (čistoće 99.5%) i nanokristalnog Ti-SS (nehrdajući čelik) tankih slojeva nanešenih procesom DC magnetronskog rasprašivanja. Istražen je učinak negativnog napona podloge na strukturu i oblik površine polikristalnih Ti i nanokristalnih Ti-SS slojeva. Nanokristalni Ti-SS slojevi imaju glatkiju površinu nego polikristalni Ti slojevi dobiveni rasprašivanjem na naponu nula volta. Razlog je velika razlika u veličini zrna nanokristalnih (oko 1 nm) i polikristalnih (stotine nm) tankih slojeva.

Keywords

Hrčak ID:

299489

URI

https://hrcak.srce.hr/299489

Publication date:

2.5.1995.

Article data in other languages: english

Visits: 373 *