Original scientific paper

Značajke trenja C i C:N tankih slojeva načinjenih RF magnetronskim rasprašivanjem

Jaroslav Sobota

Abstract

Tanki slojevi C i C:N načinjeni su u standardnom sustavu za rasprašivanje s RF magnetonom. Upotrebljavana je grafitna meta visoke (99.999 %) čistoće. Tribološka mjerenja načinjena su pomoću tribometra s kuglicom na disku. Klizni pomak na nanešenom sloju definira se preko trenutka kada nastane ogrebotina i faktor trenja naglo poraste.

Keywords

Hrčak ID:

299491

URI

https://hrcak.srce.hr/299491

Publication date:

2.5.1995.

Article data in other languages: english

Visits: 382 *