Original scientific paper
Morfološki opis kompozitnih slojeva
Rudolf Hrach
; Faculty of Mathematics and Physics, Charles University V Holešovičkách 2, 180 00 Prague 8, Czech Republic
Nguyen Le Huong
; Faculty of Mathematics and Physics, Charles University V Holešovičkách 2, 180 00 Prague 8, Czech Republic
Abstract
Izravna mjerenja i modeliranje primjenjuju se za proučavanje početnih stadija rasta tankih metalnih slojeva u dvije dimenzije (nespojene nakupine na dielektričnim podlogama) i u tri dimenzije (plazma - kemijski načinjeni kompozitni slojevi). Razne se metode matematičke morfologije upotrebljavaju za analize snimaka iz transmisijskih elektronskih mikroskopa i za opis čestica raspodijeljenih u prostoru. Primjenom računala razvijene su morfološke metode koje su osjetljive za raspodjelu objekata i u trećoj dimenziji.
Keywords
Hrčak ID:
299494
URI
Publication date:
2.5.1995.
Visits: 439 *