Original scientific paper

Sustav za vakuumsko naparavanje uz pojačanje prekrivanja ionskim snopom

Pavel Hedbávný ; VAKUUM PRAHA spol.s.r.o., V Holešovičkách 2 CZ-180 00 Praha 8, Czech Republic
Petr Stovícek ; VAKUUM PRAHA spol.s.r.o., V Holešovičkách 2 CZ-180 00 Praha 8, Czech Republic
Lothar Siegert ; MAT GmbH DRESDEN, Reisstrasse 3 D-01257 Dresden, Germany
Peter Müller ; MAT GmbH DRESDEN, Reisstrasse 3 D-01257 Dresden, Germany

Abstract

Radi rješavanja problema prianjanja, naprezanja u slojevima ili radi postizavanja posebnih efekata, sve se više upotrebljava nanošenje uz pojačanje ionskim snopom. Opisuje se takav malen sustav za primjenu u istraživačkim laboratorijima ili u industriji. Vakuumski sistem isisava pumpa s dijafragmom i turbomolekulska pumpa, što omogućava rad bez zagadenja uljem. U cilindričnoj komori mogu se razmjestiti jedan ili više magnetrona i izvora iona. Moguće je automatsko vođenje procesa naparavanja računalom.

Keywords

Hrčak ID:

299502

URI

https://hrcak.srce.hr/299502

Publication date:

2.5.1995.

Article data in other languages: english

Visits: 346 *