Kratko priopćenje

Применение уравнений Френеля в статистическом анализе эллипсометрических данных - определение оптических показателей анодно полученных плёнок из TiO2

Lj. D. Arsov ; Tehnoloski Fakultet, Univerzitet »Kiril i Metodij« 91000 Skopje, Jugoslavia
M. Froelicher ; Groupe de Recherche No. 4 du C.N.R.S. Physique des Liquides et Electrochimie, associe a l'Universite Pierre et Marie Curie 4, Place Jussieu, 75230 Paris Cedex 05, France
M. Froment ; Groupe de Recherche No. 4 du C.N.R.S. Physique des Liquides et Electrochimie, associe a l'Universite Pierre et Marie Curie 4, Place Jussieu, 75230 Paris Cedex 05, France
A . Hugot Le-Goff ; Groupe de Recherche No. 4 du C.N.R.S. Physique des Liquides et Electrochimie, associe a l'Universite Pierre et Marie Curie 4, Place Jussieu, 75230 Paris Cedex 05, France

Sažetak

Оптические показатели TI02 плёнок , определены эллилсометрически
при стандартных ех-ситовых условиях в видимой
спектральной области. Плёнки , изготовленные из Ti02, получены
анодным окислением электрополирован:ной титановой поверхности
в области потенциала от О до 100 V. Путём вычисления:,
с помощью измеренных эллипсометрических параметров L1 и Р
и Френеловых уравнений, показано , что численное значение
оптических показателей уменьшае11ся: с изменением т олщины
плёнки, и что у тол·стых плёнок они получают постоянные значения:.
Исползован и ем различных спос обо в выч исления: пок.азано,
каким образом можно получить наиболее точные рез у ль таты,
т. е. самая: маленькая: погрешность при статистической
обработке эллипсометрических д анных.

Ključne riječi

Hrčak ID:

194262

URI

https://hrcak.srce.hr/194262

Datum izdavanja:

1.9.1982.

Posjeta: 535 *