Izvorni znanstveni članak
Primjenjivost različitih metoda analize profila linija XRD za ocjenjivanje veličine zrnaca i mikronaprezanja u tankim slojevima volframa
Igor Đerđ
; Departemnt of Physics, Faculty of Science, University of Zagreb, Bijenička 32, P. O. Box 331, HR-10002 Zagreb, Croatia
Anđelka Tonejc
; Departemnt of Physics, Faculty of Science, University of Zagreb, Bijenička 32, P. O. Box 331, HR-10002 Zagreb, Croatia
Antun Tonejc
; Departemnt of Physics, Faculty of Science, University of Zagreb, Bijenička 32, P. O. Box 331, HR-10002 Zagreb, Croatia
Nikola Radić
; Ruđer Bošković Institute, Bijenička c. 54, P.O.Box 180, HR-10002, Zagreb, Croatia
Sažetak
Primijenili smo različite metode za analizu profila linija rendgenske difrakcije radi proučavanja mikrostrukturnih parametara, kao što su veličina kristalita (veličina difrakcijskih domena), mikronaprezanja i struktura u tankim slojevima volframa naparenim na staklo magnetronskim DC rasprašivanjem pri različitim temperaturama podloge i radnim tlakovima plina. Primijenili smo cjelovitu analizu spektara Rietveldovom metodom, metodom “jedne linije” i metodom “dvo-Voigta” (jednakovaljanog metodi Warrena-Averbacha) i usporedili ih. Nadalje, raspravljamo i rezultate dobivene Scherrerovom metodom. Nalazimo da je širenje linija izotropno, što potvrđuje pouzdanost primjene Rietveldove metode za izvođenje veličine i mikronaprezanja.
Ključne riječi
Hrčak ID:
302054
URI
Datum izdavanja:
1.3.2006.
Posjeta: 170 *