Original scientific paper
Određivanje debljine tankih polimernih filmova s pomoću rezonatora i FIB/SEM analizom
Tatjana HARAMINA
orcid.org/0000-0001-5327-4329
; University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Zagreb
Abstract
Tankim se filmovima smatraju oni filmovi čija se svojstva zbog reducirane debljine razlikuju od svojstava u bulk* sustavima. Kod polimernih filmova jedan od uzroka različitih svojstava je preferirana orijentacija bočnih lanaca na sučeljima, što uzrokuje i razliku u slobodnom volumenu po presjeku. Rezultati analiza nužno se prikazuju u ovisnosti o debljini. Razlika u strukturi otežava određivanje debljine filma metodama uobičajenim za polimerne filmove kao što su elipsometrija, rendgenska difraktometrija, profilometrija i sl. U ovom radu debljina polimernog filma na podlozi od silicija određena je s pomoću rezonatora, a rezultati su uspoređeni sa slikama dobivenima s pomoću fokusirane ionske zrake i rasterskoga elektronskog mikroskopa FIB/SEM analizom (e. Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscopy). Obje metode pokazale su se neovisnima o strukturnim nehomogenostima.
Keywords
debljina; FIB/SEM; rezonator; tanki polimerni film
Hrčak ID:
32688
URI
Publication date:
23.2.2009.
Visits: 1.896 *