Skoči na glavni sadržaj

Izvorni znanstveni članak

Određivanje debljine tankih polimernih filmova s pomoću rezonatora i FIB/SEM analizom

Tatjana HARAMINA orcid id orcid.org/0000-0001-5327-4329 ; Fakultet strojarstva i brodogradnje Sveučilišta u Zagrebu, Zagreb


Puni tekst: hrvatski pdf 252 Kb

str. 152-156

preuzimanja: 450

citiraj

Puni tekst: engleski pdf 252 Kb

str. 152-156

preuzimanja: 377

citiraj


Sažetak

Tankim se filmovima smatraju oni filmovi čija se svojstva zbog reducirane debljine razlikuju od svojstava u bulk* sustavima. Kod polimernih filmova jedan od uzroka različitih svojstava je preferirana orijentacija bočnih lanaca na sučeljima, što uzrokuje i razliku u slobodnom volumenu po presjeku. Rezultati analiza nužno se prikazuju u ovisnosti o debljini. Razlika u strukturi otežava određivanje debljine filma metodama uobičajenim za polimerne filmove kao što su elipsometrija, rendgenska difraktometrija, profilometrija i sl. U ovom radu debljina polimernog filma na podlozi od silicija određena je s pomoću rezonatora, a rezultati su uspoređeni sa slikama dobivenima s pomoću fokusirane ionske zrake i rasterskoga elektronskog mikroskopa FIB/SEM analizom (e. Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscopy). Obje metode pokazale su se neovisnima o strukturnim nehomogenostima.

Ključne riječi

debljina; FIB/SEM; rezonator; tanki polimerni film

Hrčak ID:

32688

URI

https://hrcak.srce.hr/32688

Datum izdavanja:

23.2.2009.

Podaci na drugim jezicima: engleski

Posjeta: 1.896 *