Preliminary communication

Karakterizacija dupleks tvrdih prevlaka sa dodatnom ionskom primjenom

B. Škorić ; University of Novi Sad, Faculty of Technical Sciences, Serbia
D. Kakaš ; University of Novi Sad, Faculty of Technical Sciences, Serbia
D. Ješić ; University of Banja Luka, Faculty of Engineering, Bosnia and Herzegovina
M. Gostimirović ; University of Novi Sad, Faculty of Technical Sciences, Serbia
A. Miletić ; University of Novi Sad, Faculty of Technical Sciences, Serbia

Abstract

U ovom radu pretstavljaju se rezultati istraživanja TiN tankih fi lmova, nanešenih fi zičkim odlaganjem iz parne faze i te podržani ionskim snopom. U ovom istraživanju je izvršena i naknadna ionska primjena sa N+2 ionima. Ionska primjena je sprovedena radi poboljšanja mehaničkih svojstava površina. Proces nanošenja tankih fi lmova karakterizira veliki broj učinaka, kao što su: kristalografska orijentacija, morfologija, topografi ja, gustoća fi lma. Razvoj mikrostrukture od porozne i stubaste u zrnastu gusto pakovanu, se dešava uz istovremenu promjenu mehaničkih i fi zičkih svojstava. Za karakterizaciju su rabljene različite analitičke tehnike, kao što su test zaparavanja, kalo test, skenirajući elektronski mikroskop (SEM), mikroskop atomskih sila (AFM), rentgenska difrakcija X zraka (XRD) i energijska disperzivna analiza X zraka (EDAX).

Keywords

čelik; prevlake; supertvrdoća; ionska primjena; nanotvrdoća

Hrčak ID:

71181

URI

https://hrcak.srce.hr/71181

Publication date:

2.1.2012.

Article data in other languages: english

Visits: 1.959 *