Original scientific paper
Utjecaj kuta naparavanja gornje elektrode na vrijeme odziva proba za mjerenje relativne vlažnosti
Karol Požun
; Inštitut za Elektroniko in Vakuumsko Tehniko, Teslova 30, 1111 Ljubljana, Slovenia
Boštjan Paradiz
; Inštitut za Elektroniko in Vakuumsko Tehniko, Teslova 30, 1111 Ljubljana, Slovenia
Jan Leskovšek
; Inštitut za Elektroniko in Vakuumsko Tehniko, Teslova 30, 1111 Ljubljana, Slovenia
Abstract
Opisuje se gradnja i ispitivanje tankoslojnih kapacitivnih proba (senzora) za mjerenje relativne vlažnosti u kojima se primjenjuju tanki slojevi (listići) polimera. Gornja elektroda mora biti električki vodljiva i također porozna da bi odziv na promjene relativne vlažnosti bio brz. Gornje su elektrode načinjene vakuumskim naparavanjem Ni, Cr ili Ni–Cr legura pod raznim kutovima kako bi se postigla njihova povoljna poroznost.
Keywords
Hrčak ID:
299600
URI
Publication date:
2.5.1996.
Visits: 199 *