Original scientific paper

Mjerenje raspodjele elektronske energije u dvama područjima istosmjernog magnetrona za rasprašivanje

F. F. Elakshar ; Physics Department, Faculty of Science, Azhar University, Egypt
M. A. Hassouba ; Physics Department, Faculty of Science, Benah University, Egypt
A. A. Garamoon ; Physics Department, Faculty of Science, Azhar University, Egypt

Abstract

Primjenom Langmuirove sonde mjerili smo funkciju raspodjele elektronske energije (EEDF) na rubu katodnog tamnog prostora i u pozitivnom stupcu tinjavog izboja u Ar i He. U katodnom tamnom prostoru našli smo ne-Maxwellov EEDF s dvjema grupama elektrona. Ove dvije grupe ne mogu se termalizirati jer brzo napuštaju prostor tinjavog izboja. Raspravljamo uzroke dviju grupa. Međutim, u pozitivnom stupcu smo našli Maxwellovu EEDF. U tom je području trajanje plazme dugo i elektroni se mogu termalizirati.

Keywords

Hrčak ID:

301093

URI

https://hrcak.srce.hr/301093

Publication date:

1.9.2000.

Article data in other languages: english

Visits: 545 *